卡盘配件
卡盘配件
卡盘配件是薄膜厚度测绘系统不可或缺的组件。 它们为测量提供了稳定安全的环境，确保晶圆的测量具有一致的准确性。 Filmetrics® 的卡盘配件可适配不同尺寸的晶圆。 卡盘配件可容纳2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、200毫米、300毫米和450 毫米的晶圆。 F50、F54和F60 卡盘的制造工艺高度灵活，可适配不同尺寸的晶圆，易用性也有所提升。
F50Chuck-100mm
适用于2英寸、3 英寸和4 英寸晶圆的F50卡盘组件。
F50Chuck-200mm
适用于4英寸、5英寸、6英寸和200mm晶圆的F50卡盘组件。
F50Chuck-300mm
适用于4英寸、5英寸、6英寸、200mm和300mm晶圆的F50卡盘组件。
F50Chuck-450mm
适用于4英寸、5 英寸、6英寸、200mm、300mm和450mm晶圆的F50卡盘组件。
F50Chuck-Custom
F50定制卡盘通常可在四周内供应
F60Chuck-200mm
适用于4英寸、5英寸、6英寸和200mm晶圆的F60卡盘组件。
F60Chuck-300mm
适用于4英寸、5英寸、6英寸、200mm和300mm晶圆的F60卡盘组件。