纳米压痕仪
纳米压痕仪
KLA Instruments ™ 的纳米压痕测试仪能够提供准确、可靠和可重复的硬度、杨氏模量和其他力学属性测量，以帮助您探索新材料，减少产品故障并加快上市节奏。
iMicro
纳米压痕仪
灵活且用户友好的纳米压痕仪，适用于测量模量、硬度（Oliver-Pharr模型，ISO 14577）、储存模量/损耗模量以及万能力学试验。能够施加高达1N的力，为硬质材料测试提供更高载荷和更大深度。可供选配的不同作动器，用于软质材料、摩擦学研究、横向力测量和其它需要双轴测量力和位移的场景。
Nano Indenter® G200
纳米压痕仪
完全可扩展的、经过生产验证的纳米压痕仪，具有自动化高通量硬度和杨氏模量测量能力。 G200是KLA纳米压痕仪产品系列中载荷范围最大的产品，可用于测量多种材料的杨氏模量、硬度、断裂韧性、耐磨性/抗划伤性、摩擦系数、高温蠕变响应和粘弹性。
Nano Indenter® G200X
纳米压痕仪
这是一款先进的纳米压痕仪，用户可以在操作界面上灵活、方便地进行纳米级力学测试。Nano Indenter G200X采用高速控制器电子设备、升级后的用户界面和先进的InView™软件能实现各种可选的高级应用模块功能：特定频率测试、定量划痕和磨损测试、基于探针的集成成像、高温测试和自定义测试协议。
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查看更多信息纳米压痕技术创新时间表
约 40 年前，KLA 的 Warren Oliver 博士共同开发了纳米压痕产品；此后，KLA Instruments 在此基础上不断进行创新。从推出第一台纳米压痕仪到将纳米压痕技术扩展至快速、高温和高应变率测试领域，我们不断开发新的静态和动态测量类型，推动下一代材料硬度的纳米力学测试技术向前发展。
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Instruments
KLA Instruments提供一系列轮廓仪、纳米压痕仪、薄膜厚度仪、电阻测量仪以及缺陷检测和量测系统。对于行业专家、学术界和其他创新者，KLA Instruments提供值得信赖的测量技术，助力世界实现技术上的突破性发展。
缺陷检测系统
Candela® 用于化合物半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信、网络、LED、功率器件、传感器、太阳能、光伏和数据存储等应用中实现显著的良率和工艺改进。
光学轮廓仪
Profilm3D® 和 Zeta™ 光学轮廓仪利用干涉仪和 ZDot 测量技术为 3D 台阶高度、粗糙度和其他表面形貌测量提供快速、非接触式的测量解决方案。
方块电阻测试仪
Filmetrics® 电阻测试仪在超过 45 年的电阻测量创新和专业技术的基础上开发而成。
探针式轮廓仪
Alpha-Step®, Tencor® P 系列和 HRP 探针式轮廓仪可实现高精度、二维 (2D) 和三维 (3D) 表面量测。探针式轮廓仪测量台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力，具有优秀的稳定性和可靠性，可满足您的研发和生产量测要求。
薄膜厚度测量仪
Filmetrics® 薄膜厚度仪可在数秒内以业界先进的精度测量透明薄膜的厚度和折射率。