Zeta™-20
光学轮廓仪
Zeta-20台式光学轮廓仪采用获得专利的ZDot™技术和灵活配置的多模光学器件,用于测量3D表面形貌、薄膜厚度和进行自动缺陷检测。高分辨率升级配置,专为太阳能应用需求而设计。
产品详细信息探针式轮廓仪
Alpha-Step®, Tencor™ P 系列和 HRP 探针式轮廓仪可实现高精度、二维 (2D) 和三维 (3D) 表面量测。探针式轮廓仪测量台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力,具有优秀的稳定性和可靠性,可满足您的研发和生产量测要求。
产品详细信息Instruments
KLA Instruments提供一系列轮廓仪、纳米压痕仪、薄膜厚度仪、电阻测量仪以及缺陷检测和量测系统。对于行业专家、学术界和其他创新者,KLA Instruments提供值得信赖的测量技术,助力世界实现技术上的突破性发展。
产品详细信息