产品描述
Filmetrics® F60-c 系列专为生产环境增添了几项功能，在 F50 系列的基础上提升了薄膜厚度测量范围和折射率测绘性能。 其中包括自动缺口定位、内置自动基线测量、带运动联锁的封闭式测量载物台，以及预装了软件的工业计算机。
全新升级的 F60-c 提供自动盒到盒系统，可轻松实现晶圆尺寸的切换，让 F60-c 系列的自动化能力更上一层楼。 该系统是进出厂工具质量验证及化学品供应商质量控制的理想选择。
产品功能
- 行业领先的薄膜测量技术
- 每个系统均配备直观的分析软件
- 内置在线诊断功能
- 每个系统均配有包含 130 多种材料的数据库
- 训练有素的应用工程师，通过电话、电子邮件和在线工具，提供高效的技术支持
- 系统套件包含集成的光谱仪/光源模块、TS-SiO2-8-8000 厚度标准片、6 英寸和 200 毫米晶圆反射率标准片等！
应用
- 搭载盒对盒系统的自动薄膜厚度测量，可在不同晶圆尺寸间轻松切换
- 映射 n 和 k 值
