半导体：光刻胶厚度测量

借助我们的 Filmetrics F20、Filmetrics F3-sX、Filmetrics F50 和 Filmetrics F60-t 等多款桌上型单点反射率量测工具或多点反射率测绘工具，测量单层、多层光刻胶薄膜的光刻胶厚度和蚀刻速率。 所有 Filmetrics 模型均可实现精准光谱反射率建模，以测量光阻厚度（和光阻率）。 独特的专利算法让强大的“一键式”分析变为可能，通常可在一秒内输出结果。 Filmetrics 产品线最热门的应用包括测量 SU-8、Dow BCB 和其他超厚光刻胶的厚度。

硅晶圆和薄膜厚度测量

Filmetrics^® 系统包括用于硅晶圆厚度和薄膜厚度测量的桌上型系统、测绘系统和生产系统。 常见测量晶圆材料包括单面抛光或双面抛光硅片、蓝宝石、熔融石英、SiC（碳化硅）、LiTaO₃（钽酸锂）、GaN（氮化鎵）和玻璃。

我们的技术专家将为您找到最适合您厚度测量要求的 Filmetrics 工具，满足您测量不同厚度范围，进行单点测量与厚度测绘等需求。

液晶显示器 (LCD)

测量液晶间隙，聚酰亚胺、氧化铟锡（ITO）和透明导电氧化物（TCO）薄膜的厚度。 全面的 Filmetrics 材料库和先进的建模算法具备测量 LCD 和 OLED 层所需的高级功能。

光学涂层和电光薄膜

测量硬质涂层、增透膜和滤光片的厚度。 结合光谱反射率和 Filmetrics 的高级建模算法，您可以高效对超过 10 层薄膜进行建模。