四探针探头
四探针探头
在半导体领域，电性测量系统对于测量和监控薄膜和基底材料的方块电阻和电阻率至关重要。 我们为方块电阻测绘系统配备带有不同規格（不同半径和间距）的四探针探头，以配合金属测量、注入测量或高阻抗表面测量等各种应用。 借助我们的四探针探头，即能可靠、准确地测量薄膜和半导体方块电阻。 包含保养用基材以及备用四探针探头在内的薄膜电阻系统的替换件可轻松地在我们的网上商店订购。 这些替换件适配 R50 和 R54 4PP 系统。 Filmetrics® 的四探针探头确保您的每次测量都可以精准无误。
四点探头保养配件
四点探頭校准晶圆套装。
4PP-TypeA
4PP探头，间距1mm，尖端半径40µm，100gm。 适用于金属测量。
4PP-TypeB
4PP探头，间距1mm，尖端半径100µm，100gm。 适用于一般用途的离子注入测量。
4PP-TypeC
4PP 探头，1mm间距，尖端半径200µm，100gm。 适用于注入/高阻抗表面测量。
4PP-TypeD
4PP探头，1mm间距，尖端半径500µm，100gm。 适用于复杂注入/高阻抗表面测量。
4PP-TypeE
4PP探头，间距 1.6mm，尖端半径 40µm，200gm。 适用于基板/基底材料测量。
4PP-TypeF
4PP探头，间距0.625mm，尖端半径40µm，100gm。 适用于金属测量。
4PP-TypeG
4PP探头，间距0.6mm，尖端半径100µm，100gm。 适用于一般用途的离子注入测量。
4PP-TypeH
4PP探头，间距0.6mm，尖端半径200µm，100gm。 适用于注入/高阻抗表面测量。
4PP-TypeI
4PP探头，间距0.6mm，尖端半径500µm，100gm。 适用于复杂注入/高阻抗表面测量。