光学轮廓仪
光学轮廓仪
Profilm3D® 和 Zeta™ 光学轮廓仪为3D表面形貌测量提供快速、简便、非接触式的解决方案。我们的光学轮廓仪组合支持多种测量技术，包括白光干涉法，真彩色成像和 ZDot ™ 点阵共聚焦。 KLA Instruments 可以提供满足您独特需求的轮廓仪解决方案。
Filmetrics® Profilm3D®
光学轮廓仪
Profilm3D® 台式光学轮廓仪采用白光干涉法， TotalFocus™ 无景深限制成像，或加强粗糙度模式，可以对3D台阶高度、粗糙度和其他表面形貌进行轻松地非接触式测量。
Zeta™-Solar
光学轮廓仪
最新Zeta-Solar是一款为太阳能行业定制的光学轮廓仪，可满足独特的太阳能电池金属化需求，针对先进的太阳能电池工艺金属细栅和主栅测量而设计，是太阳能电池丝网印刷工艺质量控制的理想测量机台。
Zeta™-20
光学轮廓仪
Zeta-20台式光学轮廓仪采用获得专利的ZDot™技术和灵活配置的多模光学器件，用于测量3D表面形貌、薄膜厚度和进行自动缺陷检测。高分辨率升级配置，专为太阳能应用需求而设计。
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KLA Instruments™ 拥有如今的光学轮廓仪组合，是早先各品牌合力创新的结果。ADE 发布了 MicroXAM 干涉仪。Zeta™ Instruments 开发了 ZDot™和多模式光学轮廓仪。Filmetrics®推出了新型、通用的白光干涉仪。这些产品组成了多样化的光学轮廓仪组合，现在统一在 KLA Instruments 品牌下。详细了解我们丰富的创新历史以及我们的仪器如何继续发展以支持您的表面量测需求。
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Instruments
KLA Instruments提供一系列轮廓仪、纳米压痕仪、薄膜厚度仪、电阻测量仪以及缺陷检测和量测系统。对于行业专家、学术界和其他创新者，KLA Instruments提供值得信赖的测量技术，助力世界实现技术上的突破性发展。
缺陷检测系统
Candela® 用于化合物半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信、网络、LED、功率器件、传感器、太阳能、光伏和数据存储等应用中实现显著的良率和工艺改进。
纳米压痕仪
KLA Instruments 的纳米压痕仪产品能够提供精准、可靠和可重复的检测，用于在各种测试条件下确定材料静态和动态力学特征属性。
方块电阻测试仪
Filmetrics® 电阻测试仪在超过 45 年的电阻测量创新和专业技术的基础上开发而成。
探针式轮廓仪
Alpha-Step®, Tencor® P 系列和 HRP 探针式轮廓仪可实现高精度、二维 (2D) 和三维 (3D) 表面量测。探针式轮廓仪测量台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力，具有优秀的稳定性和可靠性，可满足您的研发和生产量测要求。
薄膜厚度测量仪
Filmetrics® 薄膜厚度仪可在数秒内以业界先进的精度测量透明薄膜的厚度和折射率。