薄膜电阻测量系统
薄层电阻量测系统
薄膜电阻测量对于任何用到导电薄膜的行业都非常关键。无论是半导体制造，还是实现可穿戴技术所需的柔性电子产品，都涉及薄膜电阻测量。 依托 KLA 超过 45 年在薄膜电阻测量领域的创新积累，Filmetrics® R 系列薄膜电阻测量仪器应运而生。自 1975 年推出第一台电阻率计以来，我们已彻底改变导电层的薄层电阻测量和厚度测量方法。
Filmetrics® R50-4PP 四点探针系统和 Filmetrics R50-EC 涡流系统
Filmetrics R50-4PP 接触式四点探针系统和 Filmetrics R50-EC 非接触式涡流系统均可绘制金属层厚度、薄膜电阻、薄膜导纳和电导率。
R50-4PP Z 轴行程范围较大，是各种应用的理想选择。 R50-EC 系统则是测量敏感和/或柔韧导电表面电阻率和薄膜厚度的优质之选。
Filmetrics® R54-200 和 Filmetrics R54-300 薄膜电阻测绘系统
Filmetrics R54 的高级方块电阻率和电导率测绘系统在保留 R50 功能的基础上，增加全遮光外壳和附加性能，为半导体和化合物半导体应用（包括离子注入和外延晶圆）提供支持。
两种 R54 系统最大可容纳 200 毫米和 300 毫米的样品，可配置接触式四点探头（R54-4PP）或非接触式涡流系统（R54-EC）。
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KLA Instruments提供一系列轮廓仪、纳米压痕仪、薄膜厚度仪、电阻测量仪以及缺陷检测和量测系统。对于行业专家、学术界和其他创新者，KLA Instruments提供值得信赖的测量技术，助力世界实现技术上的突破性发展。
缺陷检测系统
Candela® 用于化合物半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信、网络、LED、功率器件、传感器、太阳能、光伏和数据存储等应用中实现显著的良率和工艺改进。
纳米压痕仪
KLA Instruments 的纳米压痕仪产品能够提供精准、可靠和可重复的检测，用于在各种测试条件下确定材料静态和动态力学特征属性。
光学轮廓仪
Profilm3D® 和 Zeta™ 光学轮廓仪利用干涉仪和 ZDot 测量技术为 3D 台阶高度、粗糙度和其他表面形貌测量提供快速、非接触式的测量解决方案。
探针式轮廓仪
Alpha-Step®, Tencor® P 系列和 HRP 探针式轮廓仪可实现高精度、二维 (2D) 和三维 (3D) 表面量测。探针式轮廓仪测量台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力，具有优秀的稳定性和可靠性，可满足您的研发和生产量测要求。
Filmetrics® 薄膜厚度测量仪
Filmetrics® 薄膜厚度仪可在数秒内以业界先进的精度测量透明薄膜的厚度和折射率。