Filmetrics® 薄膜厚度测量系统
Filmetrics® 薄膜厚度测量系统
Filmetrics® F 系列反射仪可在数秒内精准测量薄膜厚度。 这些易于使用、经济实惠的厚度测量工具可与智能软件及各种附件与配置相结合，使用高度灵活，可测量厚 1 纳米至 3 毫米的薄膜。
单点厚度测量系统
单击鼠标即可测出薄膜厚度和折射率的桌上型系统。 即使对于多层堆叠的膜结构，测量范围也能达到 1 纳米至 3 毫米。
Filmetrics® F10-ARc
便携式的反射率薄膜厚度测量系统，价格实惠。配有内置光纤，专利化的长寿命、低功耗光源，可测量镀有减反层的曲面。在几秒的时间内可轻松完成颜色、反射率和薄膜厚度测量。
Filmetrics® F10-HC
测量平面和曲面上硬质涂层和防雾薄膜的厚度和折射率。在汽车行业及其他对聚碳酸酯进行硬涂处理的行业中同样广受欢迎。F10-HC的设计基于F20的平台，可快速通过反射率光谱数据分析得到薄膜厚度信息。
微光斑厚度测量系统
测量点小于 1 微米时需要用到的薄膜厚度测量仪。请配合使用您自己的显微镜，或者我们也可以供应整个测量系统。
自动厚度测绘系统
可用于测绘几乎任何形状样品的薄膜厚度和折射率自动测量系统。
Filmetrics® F54-XY-200 和 F54-XY-300 薄膜厚度测量测绘仪
可测绘带图案或无图案样品，最大尺寸为200mmx200mm方形，或300mm直径圆形，速率高达每秒2个测试点。
产线上厚度监测系统
在生产过程中检测和控制变化的薄膜膜厚。测量多个点位时，采样率最高达100Hz。
创新发展历程
从 1995 年推出第一台薄膜测量仪器开始，Filmetrics 的技术专家不断推出关键技术创新，例如 AutoBaseline™，它使用薄膜厚度图像进行图形识别，并内置自动波长校准功能。二十多年来，Filmetrics 提供的创新技术和无可比拟的应用支持为客户提供了可重复且值得信赖的薄膜量测功能。详细了解丰富多彩的创新历史，并了解 Filmetrics 反射计是薄膜测量标准的原因之所在。
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Instruments
KLA Instruments提供一系列轮廓仪、纳米压痕仪、薄膜厚度仪、电阻测量仪以及缺陷检测和量测系统。对于行业专家、学术界和其他创新者，KLA Instruments提供值得信赖的测量技术，助力世界实现技术上的突破性发展。
缺陷检测系统
Candela® 用于化合物半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信、网络、LED、功率器件、传感器、太阳能、光伏和数据存储等应用中实现显著的良率和工艺改进。
纳米压痕仪
KLA Instruments 的纳米压痕仪产品能够提供精准、可靠和可重复的检测，用于在各种测试条件下确定材料静态和动态力学特征属性。
光学轮廓仪
Profilm3D® 和 Zeta™ 光学轮廓仪利用干涉仪和 ZDot 测量技术为 3D 台阶高度、粗糙度和其他表面形貌测量提供快速、非接触式的测量解决方案。
Filmetrics® 方块电阻测量仪
Filmetrics® 电阻测试仪在超过 45 年的电阻测量创新和专业技术的基础上开发而成。
探针式轮廓仪
Alpha-Step®, Tencor® P 系列和 HRP 探针式轮廓仪可实现高精度、二维 (2D) 和三维 (3D) 表面量测。探针式轮廓仪测量台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力，具有优秀的稳定性和可靠性，可满足您的研发和生产量测要求。