缺陷检测系统

Candela® 用于化合物半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信、网络、LED、功率器件、传感器、太阳能、光伏和数据存储等应用中实现显著的良率和工艺改进。

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纳米压痕仪

KLA Instruments 的纳米压痕仪产品能够提供精准、可靠和可重复的检测，用于在各种测试条件下确定材料静态和动态力学特征属性。

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光学轮廓仪

Profilm3D® 和 Zeta™ 光学轮廓仪利用干涉仪和 ZDot 测量技术为 3D 台阶高度、粗糙度和其他表面形貌测量提供快速、非接触式的测量解决方案。

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方块电阻测试仪

Filmetrics® 电阻测试仪在超过 45 年的电阻测量创新和专业技术的基础上开发而成。

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探针式轮廓仪

Alpha-Step®, Tencor® P 系列和 HRP 探针式轮廓仪可实现高精度、二维 (2D) 和三维 (3D) 表面量测。探针式轮廓仪测量台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力，具有优秀的稳定性和可靠性，可满足您的研发和生产量测要求。

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薄膜厚度测量仪

Filmetrics® 薄膜厚度仪可在数秒内以业界先进的精度测量透明薄膜的厚度和折射率。

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服务

KLA Instruments 服务团队提供响应快速且灵活高效的全球支持网络，以满足您的特殊需求，并最大限度地保证您的系统正常运行。

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ProfilmOnline® 分析软件

Filmetrics® 的 ProfilmOnline 是一款基于浏览器的免费应用程序，可用于存储、共享、查看和分析几乎任何三维显微镜、轮廓仪或 AFM 生成的三维图像。

分析图像

 

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