推荐产品
Filmetrics R54-200
Filmetrics R54-200拥有先进的薄膜电阻测绘系统,在光密外壳内可以提供 R50性能功能,并具有支持半导体和化合物半导体应用(包括植入式和外延式晶圆)的附加功能。
Filmetrics R54-200可配置为接触式四点探针 (R54-200-4PP) 或非接触式电涡流系统 (R54-200-EC)。
Filmetrics® Profilm3D®
Profilm3D® 台式光学轮廓仪采用白光干涉法, TotalFocus™ 无景深限制成像,或加强粗糙度模式,可以对3D台阶高度、粗糙度和其他表面形貌进行轻松地非接触式测量。
获取来自 KLA Instruments 的最新资讯、技术资料和活动信息。
关注 KLA Instruments
点击右侧微信图标,扫描二维码,关注KLA Instruments,与我们的专家沟通,了解仪器的具体应用。