KLA将参加台湾涂层与薄膜技术协会论坛(TACT 2025)

展会时间:2025年10月26~29日
展会地点:台北,台北福华大饭店

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KLA将参加第十五届中国国际纳米技术产业博览会(CHInano 2025)

展会时间:2025年10月22~24日
展会地点:江苏,苏州国际博览中心
展位号: T35

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KLA Instruments

KLA Instruments提供一系列轮廓仪、纳米压痕仪、薄膜厚度仪、电阻测量仪以及缺陷检测和量测系统。对于行业专家、学术界和其他创新者,KLA Instruments提供值得信赖的测量技术,助力世界实现技术上的突破性发展。

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Filmetrics® R54 系列

Filmetrics® 电阻测试仪在超过 45 年的电阻测量创新和专业技术的基础上开发而成。我们最新的电阻测试仪器,专为200mm和300mm晶圆而设计,提供接触式或非接触式的系统配置,以支持半导体和化合物半导体的应用。

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Filmetrics® Profilm3D®

Profilm3D® 台式光学轮廓仪采用白光干涉法, TotalFocus 无景深限制成像,或加强粗糙度模式,可以对3D台阶高度、粗糙度和其他表面形貌进行轻松地非接触式测量。

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iMicro

灵活且用户友好的纳米压痕仪,适用于测量模量、硬度(Oliver-Pharr模型,ISO 14577)、储存模量/损耗模量以及万能力学试验。能够施加高达1N的力,为硬质材料测试提供更高载荷和更大深度。可供选配的不同作动器,用于软质材料、摩擦学研究、横向力测量和其它需要双轴测量力和位移的场景。

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