Tencor® 探针式轮廓仪
Tencor® 探针式轮廓仪
KLA Instruments™ Alpha-Step®、Tencor P- 和 HRP®系列探针式轮廓仪提供高精度2D和3D表面量测，测量台阶高度、表面粗糙度、翘曲度和应力以及优秀的稳定性和可靠性，满足您的研发和生产要求。
Alpha-Step® D-600
探针式轮廓仪
Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪在 Alpha-Step 技术的基础上增加了一个电动 X-Y 样品台，能够自动映射 2D 和 3D 台阶高度和表面的粗糙度的测量。
Tencor® P-17 & Tencor® P-17 OF
探针式轮廓仪
行业领先的Tencor P-17是基于40多年表面量测经验开发的最新一代台式探针式轮廓仪，可为研发和生产环节提供精确的二维(2D)和三维(3D)台阶高度和表面粗糙度测量。
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自 1977 年推出 Alpha-Step 100 探针式轮廓仪以来，我们的技术专家不断将先进的表面形貌传感器、超平面扫描平台和全自动测量能力等关键创新推向市场。 我们的仪器不断发展，为您的表面形貌测量提供良好的重复性和准确性。详细了解探针式轮廓仪丰富的创新发展历程。
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Instruments
KLA Instruments提供一系列轮廓仪、纳米压痕仪、薄膜厚度仪、电阻测量仪以及缺陷检测和量测系统。对于行业专家、学术界和其他创新者，KLA Instruments提供值得信赖的测量技术，助力世界实现技术上的突破性发展。
缺陷检测系统
Candela® 用于化合物半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信、网络、LED、功率器件、传感器、太阳能、光伏和数据存储等应用中实现显著的良率和工艺改进。
纳米压痕仪
KLA Instruments 的纳米压痕仪产品能够提供精准、可靠和可重复的检测，用于在各种测试条件下确定材料静态和动态力学特征属性。
光学轮廓仪
Profilm3D® 和 Zeta™ 光学轮廓仪利用干涉仪和 ZDot 测量技术为 3D 台阶高度、粗糙度和其他表面形貌测量提供快速、非接触式的测量解决方案。
方块电阻测试仪
Filmetrics® 电阻测试仪在超过 45 年的电阻测量创新和专业技术的基础上开发而成。
薄膜厚度测量仪
Filmetrics® 薄膜厚度仪可在数秒内以业界先进的精度测量透明薄膜的厚度和折射率。