Profilm3D 系列

Filmetrics Profilm3D 白光干涉仪具有电动 X-Y 向和 Z 向样品台，行程为 100 毫米，同时具有手动倾斜样品台。该系统支持相移和垂直扫描干涉测量法，能对3D表面形貌进行高分辨率测量。

Filmetrics Profilm3D-200 白光干涉仪不仅具有与 Profilm3D 相同的功能，还提供了一个更大的电动 X-Y 样品台，支持 200 毫米 × 200 毫米的行程。

Profilm 软件包

Filmetrics Profilm 软件包全面、易懂、快速且便于使用。3D数据操作和分析功能（如调平、滤波、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术）均包含于基本配置中。Profilm 支持 ISO 粗糙度的计算方法，以及 ASME 等本地标准。只需单击一下，即可将 Profilm 中的数据上传至 ProfilmOnline 平台，从而轻松、安全地存储数据并进行共享。

ProfilmOnline 网络应用程序

Filmetrics ProfilmOnline 作为 Profilm 软件包的一部分，它是一种基于云的3D数据可视化和分析平台。在ProfilmOnline中您可共享、存储、查看和分析3D数据，无论您使用的是计算机还是移动设备。安卓和 iOS 的操作系统均可使用此应用，并支持多种文件格式。为了安全起见，可以对数据进行加密。

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物镜

四位转台可安装放大倍率从 5 倍到 100 倍不等的物镜，支持纳米级、微米级和宏观形貌应用。5倍物镜是迈克尔逊干涉物镜。10 倍、20 倍、50 倍和 100 倍物镜使用的是Mirau干涉物镜。

样品台

X-Y 和 Z 轴的电动样品台是 Profilm3D 系统的标准配置。Profilm3D X-Y 样品台的行程为 100 毫米 x 100 毫米，Profilm3D-200 的行程为 200 毫米 x 200 毫米。Z 向样品台的范围为 100 毫米。可程序化控制所有运动轴的行程。手动倾斜样品台是标准配置，运动角度为±5°。

Profilm3D 系列光学轮廓仪还有一个手动的 R-theta 晶圆样品台，适配直径为 50 毫米至 200 毫米的晶圆。此外，Profilm3D-200 支持用于容纳200 毫米晶圆的适配器。

防震台

Filmetrics Profilm3D 系列提供 Accurion Nano30 系列桌面主动防震系统，该系统在所有六个自由度中均使用电动驱动主动隔震。

台阶高度标准片

Filmetrics Profilm3D 系列包含有定制的铬-硅10μm台阶高度标准片，标准片上是有铬涂层的蚀刻台阶。0.1 µm，2 µm和4 µm等多种台阶高度标准片也可以选购。