产品描述
Filmetrics F32 高级光谱测量系统配备半宽 3U 机架安装式机箱以及额外的光谱仪,可测量最多四个位置的薄膜特性(-EXR 和 -UVX 版本可测量最多两个位置)。 F32 软件可以通过数字输入/输出或主机软件进行控制,以启动/停止/重置测量。 测量数据可自动导出到主机软件,并用于统计过程控制(SPC)。
产品功能
- 可选透镜配件可轻松适配现有的生产夹具
- 借助附带的软件和 USB 连接功能,用户可轻松地将 F32 安装到任何 Windows PC 上
- FILMeasure 软件预设了 100 多种材料,可快速测量单层和多层薄膜的数据
- 训练有素的应用工程师,通过电话、电子邮件和在线工具,提供高效的技术支持
应用
- 实时在产线上测量薄膜厚度
- 测量沉积速率、光学常数和材料均匀度
行业
- 半导体
- 化合物半导体