Nano Instruments, Inc. 发布了第一款商用纳米压痕仪，称为 Nano I。

首款商用纳米压痕仪Nano I 是由 Nano Instruments 发布的，该公司由纳米力学测试技术的发明者Warren Oliver 博士和 John Pethica 爵士共同成立。基于载荷-位移传感的纳米压痕仪，其核心术包括：电磁力驱动，具备很强的稳定性；三片式平行板电容位移传感，实现高精度的位移测量。这些技术久经时间考验，也为KLA纳米压痕仪所用。

Warren Oliver博士和 John Pethica爵士获得了连续刚度测量 (CSM) 技术的专利，这是纳米力学测试领域首屈一指的创新。

Nano Indenter^® II发布，配备全新的连续刚度测量 (CSM) 技术以进行动态纳米压痕测试。 Warren Oliver 博士和 John Pethica 爵士获得了 CSM 技术的专利，实现了随压入深度变化连续测得硬度和杨氏模量。使用这种测量技术，用户还可以从压痕测试中获得动态力学分析(DMA)数据。CSM技术目前仍然是自第一台纳米压痕仪问世以来纳米压痕领域最大的创新。

Nano Instruments 推出了一款高载荷作动器， 能够施加高达 5000mN 的压痕载荷。

Warren Oliver博士和 George Pharr 博士发表了纳米力学测量领域的里程碑式论文，迄今被引已超过22,000次。

Warren Oliver博士和George Pharr 博士在《Journal of Materials Research 》上发表了《An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments》。该论文为测量硬度和弹性模量等纳米力学性能奠定了基础。这项创举使半导体制造商将工艺参数与薄膜的机械强度和柔韧性建立定量关系，从而避免薄膜发生失效。同年，Nano Instruments推出了侧向力测量选项，可实现对压痕的表面轮廓和3D形貌的测量。

升级了Nano Indenter II上使用的奥林巴斯显微镜，增加了诺玛斯基干涉对比成像和明场/暗场成像功能，帮助用户在低对比度样品上准确找到待测特征。

Nano Instruments, Inc. 通过重新设计作动器和简化光学系统为剃须刀片行业推出了经济实惠的 Nano Indenter IIs 系统。

Nano Instruments 在田纳西州的橡树岭开设了新总部。

Nano Indenter XP与XP Head作动器同步问世，该作动器至今仍然在生产。新的作动器技术简化了测量设置，且设备框架刚度提高，在压痕载荷得到扩展的情况下，还降低了设备的系统误差。

动态接触模块 (DCM) 能够进行超低载荷压痕从而测试聚合物和其它粘弹性材料。DCM作动器的质量小、共振频率高，这是超低载荷压痕的基础。

MTS Systems 公司收购 Nano Instruments

MTS 发布了一款高温功能选项：100°C测试腔，可以容纳整个Nano Indenter XP系统。

发布用于Nano Indenter XP的软件TestWorks，用户可以使用此基于Windows的现代操作系统，实现纳米压痕仪的操作和数据分析。

MTS 推出了多款新产品，包括：300 毫米晶圆测试系统——Nano Indenter XPW；紧凑型桌面式系统——Nano Indenter SA2；集成成像系统——Nano Tribology Workstation。

发布NanoUTM用于测量纤维的拉伸性能，其典型应用是测量蜘蛛丝性能。

发布NanoUTM和NanoBionix，用于测量超细单根纤维的拉伸性能。设备很快在蜘蛛丝行业获得广泛应用，因为它能够将许多蜘蛛物种的基因组与蜘蛛丝的力学特性联系起来。NanoUTM引起了先进织物研发工程师的兴趣，因为它可以在高达400%的恒定应变率下量化测试聚合物微纤维的粘弹性特性。

基于Nano Indenter XP平台推出了200°C加温台和新的光学系统。

推出了NanoVision功能选项，使用压头和高分辨率压电纳米定位台，即可实现扫描探针显微功能。

Nano Indenter G200 是第一款符合 ISO 14577 标准的纳米力学测试仪。

Nano Indenter G200是第一款符合ISO 14577标准（仪器化压痕测试的国际标准）的商用纳米压痕仪。该设备可以实现高达10N的载荷，填补了纳米压痕和维氏硬度测试之间的空白。 横向力测量功能可进行划痕和磨损测试。 可以使用 200 毫米 x 200 毫米样品台来测量大样品。 NIDAQ 扩展系统允许用户读取和控制外部设备，支持添加第三方摄像头和其它传感器，例如温度和湿度传感器。

Agilent Technologies 从 MTS Systems 收购纳米压痕仪团队，并推出于原位纳米压痕测试和动态力学分析的新产品。

Agilent Technologies 从MTS Systems收购纳米压痕仪团队。纳米压痕仪团队在Agilent的首批项目之一就是发布了用于原位纳米压痕测试的 InSEM I，其将DCM作动器置于扫描电子显微镜(SEM)内进行原位测试。Erik Herbert博士、Warren Oliver博士和George Pharr博士开发了一种通过纳米压痕测量粘弹性材料动态特性的方案，用于取代使用动态力学分析仪(DMA)测量块体材料特性的传统方案。这项业界首创的小尺度DMA技术 将纳米压痕测试的应用范围扩展到橡胶和凝胶材料，能够量化弹性体材料的界面相互作用和降解。例如，轮胎制造商可以直接测量最终产品中的各层聚合物性能，相较于测试块体原料，其准确度有明显提升。

Nanomechanics, Inc. 由 Warren Oliver、John Swindeman 和 Kermit Parks 博士创立，旨在为新市场提供高质量的纳米压痕技术。

Agilent 发布了用于Nano Indenter G200的DCM II 作动器，其载荷更大、耐久性更强、使用更方便。

Nanomechanics, Inc. 推出业界首个原位高温纳米压痕仪InSEM HT，其最高温度可达300°C。

InSEM HT 系统的温度范围提升至 500°C。 Nanomechanics 还推出了 Express Test，这是一项革命性的高速纳米压痕技术，其能够获得样品力学性能分布图并提供材料成分的统计分析。

Nanomechanics 发布了经济适用的紧凑型纳米压痕仪 iNano^®, 以及高性能原位系统 NanoFlip。

iNano 是 Nanomechanics 推出的第一款经济实惠、结构紧凑且用户可安装的纳米压痕仪。iNano使用改进的 InForce50 作动器和控制器技术，以及重视易用性的软件包。 NanoFlip 采用与 iNano 相同的创新技术，其外形设计确保高度稳定的原位测量。

Keysight Technologies从Agilent Technologies拆分，纳米压痕仪产品线并入前者。

Nanomechanics, Inc. 发布了iMicro 纳米压痕仪，其标配新的InForce 1000作动器，能够提供更大的载荷范围。 Nanomechanics 还发布了 NanoBlitz™ 3D 技术、其通过快速纳米压痕获得力学性能成像。

Nanomechanics将NanoBlitz 3D技术与连续刚度测量(CSM)结合，可以测量块体样品不同区域的力学性能，即力学性能断层扫描。InSEM HT 温度范围提升至 800°C。

Nanomechanics 发布了 Gemini双轴压痕系统 ，用于摩擦学、磨损和单粗糙度测试。Gemini 是唯一能够以相同分辨率在双轴方向施加力并测量位移的作动器，使其具备真正的纳米摩擦学和泊松比测量能力。

KLA-Tencor Corporation收购了Keysight Technologies的纳米压痕产品团队和Nanomechanics, Inc。

KLA发布了Nano Indenter G200X，其基于G200 在性能和易用性方面有显着改进。

KLA的Nano Indenter G200X 比其前身 G200 更快，具有更高的性能和精度。KLA 纳米压痕仪的新功能包括 DataBurst^™ 冲击硬度测试，具有 100kHz 的数据采集速率，可在超过 10^4/s 的应变速率下进行硬度测量。