产品描述
F40 薄膜厚度测量仪器包含一个集成式实时摄像机,结合显微镜光学器件,可生成小至 1 微米的膜厚测量光斑,用于测量带图案、弯曲和非均匀样品。
产品功能
- 行业领先的桌上型薄膜测量系统
- 每款系统均配有直观的分析软件
- 训练有素的应用工程师,通过电话、电子邮件和在线工具,提供高效的技术支持
- 系统套件包含集成式光谱仪/光源模块、FILMeasure 软件、带 Cmount 卡口的 MA-Cmount 显微镜适配器、用于背景基线测量的 BG-显微镜、BK7 反射率标准片、TS-Focus-Si)2-4-10000 焦点/厚度标准片等!
应用
- 可在小至 1 微米的光斑上,测量带图案表面和其他材料的薄膜厚度和折射率
- 只需将 Filmetrics F40 连接到显微镜,即可开始使用!
行业
半导体制造
- 光刻胶、氧化物/氮化物、硅和其他半导体薄膜
液晶显示器
- 液晶间隙、聚酰亚胺和氧化铟锡(ITO)
MEMS(微机电系统)
- 光刻胶、硅膜、氧化铝/氧化锌(AlN/ZnO)薄膜滤光片
生物医学
- 聚对二甲苯和聚合物层厚
- 薄膜/气囊壁厚度
- 植入物表面的药物涂层
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