产品描述
Filmetrics F54-XY-200 和 F54-XY-300 自动薄膜厚度测量测绘仪分别可测量直径达 200 毫米和 300 毫米的带图案和无图案样品。高阶光谱反射率系统和业界领先的 Filmetrics 算法，可轻松绘制样品的特性图。
这款紧凑型系统可在生产应用中实现精准的测量定位。 电动 X-Y-200 载物台会自动移动到指定的测量位置，最快每秒可得出两个点的测量结果。F54-XYT-300 配置还有高性能旋转载物台可选，用于测量 300 毫米晶圆。
产品功能
- 测量带图案和无图案的样品
- 波长范围配置覆盖 190 – 1700 纳米
- 最小光斑尺寸为 5 微米
- 自动对焦和图案识别功能
- 外壳联锁
- 实时影像
- 可容纳直径高达 300 毫米的球形样品
- 用户可自行选择样品 使用矩形、线性、极坐标和自定义配置进行测量点测绘
- 手动或自动倾斜校正
- 用于保存、再现和绘制结果的高级历史记录功能
- 板载反射率和厚度标准片
- 全面的材料库和高级建模算法
- 训练有素的应用工程师，通过电话、电子邮件和在线工具，提供高效的技术支持
应用
- 带图案和无图案表面微光斑测量
