膜厚测量仪的创新历史
Filmetrics® F20 – 世界上少有的小巧紧凑、易于使用的薄膜测量仪器
F20 是使用微型光纤光谱仪来测量薄膜厚度的仪器. 利用相干干涉产生的特征标志，分析从涂有薄膜的表面反射的白光以测量薄膜厚度。 F20 易于使用、结构紧凑且价格合理，借助桌面式个人计算机和现代化的用户图形界面软件迅速增长的计算能力，使得以前因使用其他应用程序无法准确测量薄膜的用户可以转而使用它。
我们推出Filmetrics F30，一款基于反射率的沉积速率监测仪器，专为监测半导体晶体的外延生长而打造。
Filmetrics F30 荣获研发100强企业大奖
Filmetrics F30 在半导体外延层的 MOCVD 或 MBE 生长过程中进行原位、实时沉积速率监测。 F30 采用桑迪亚国家实验室开发的虚拟界面技术1, 连续测量从样品表面反射的光，以监测晶体生长速率。 由于虚拟界面技术独立于底层结构，不同成份的合金可以按顺序沉积在单个晶圆上，以快速校准多种不同材料的生长速率和成份。
1Breiland, W. & Killeen, Kevin. (1996). 一种利用原位垂直入射反射光谱从薄型半导体薄膜中获取生长速率和高温光学常数的虚拟界面方法。 《应用物理学杂志》. 78. 6726 – 6736. 10.1063/1.360496.
Filmetrics 在 F20 和 F30 上新增了折射率 (n) 和 消光系数 (k) 的测量。
Filmetrics F20 和 F30 系统开始能够测量多层堆叠中每层薄膜的厚度和光学常数。
Filmetrics F20 和 F30 系统现在采用标准并行端口接口，无需模拟接口卡，便于与客户提供的个人电脑配合使用。
Photonics Spectra 为 Filmetrics F20 颁发 Circle of Excellence 大奖，将其评为全球 25 大技术创新型光电产品之一。
Filmetrics F40 小光斑测量仪可以连接到标准显微镜，能够以小至 10µm 的光斑尺寸进行薄膜厚度测量.
Filmetrics F20 和 F30 目前可以配备紫外光谱仪，涵盖波长从 215nm 到 670nm，将可精确测量的最小膜厚从 10nm 降低到 3nm。
Filmetrics F50 仪器上的 R-Theta 载物台可承载直径 200 毫米的晶圆，允许系统在用户定义的位置测量和显示薄膜厚度。
通过在化学机械抛光 (CMP) 期间连续监测反射光谱，Filmetrics F76 原位 CMP 端点检测系统能够精确测定工艺端点。
使用高光谱成像系统，Filmetrics STMapper 全晶圆成像仪器可在不到 5 秒的时间内在直径为 200 毫米的晶圆上用尺寸为 50 微米的光斑测量薄膜厚度分布图。
研发杂志为 Filmetrics STMapper 颁发 研发 100 大奖，将其列为年度最重要的 100 种新产品之一。
1000th Filmetrics 薄膜测量仪发货
Filmetrics 销售的薄膜测量仪比任何其他制造商都多。 能够获得市场的广泛接纳要归功于仪器的易用性和经济性，以及Filmetrics 应用团队的高效、高质量的服务支持。仪器软件 (用于手动样品台的FILMeasure® 和用于自动样品台的FILMapper™) 添加了大量的新功能和性能的提升。
在所有 Filmetrics 仪器中，并行端口接口被替换为 USB 接口，便于与新的计算机连接使用。
一款改进后的 Vis-NIR 光谱仪成为所有 Filmetrics 薄膜测量仪器的标准配置光谱仪，涵盖 400nm 至 1000nm 的波长范围，可测量 15nm 至 50μm 厚度的薄膜。
目前所有仪器都可以配置 NIR 光谱仪，涵盖 950nm 至 1700nm 的波长范围，可测量 100nm 至 100µm 的薄膜厚度。
Filmetrics 推出了 F20-EXR，该仪器包括可见光和 NIR 光谱仪，能够测量 15nm 至 100µm 的薄膜厚度。
Filmetrics F80 – 高速图形化晶圆薄膜厚度测量系统
Filmetrics F80 是一种高速、小光斑、高光谱成像薄膜厚度测量仪器。 它可以对直径达 200 毫米的图形化晶圆进行测量。高光谱成像系统采用革命性的模式识别技术，可以根据薄膜堆叠情况、成份和厚度来区分视场中的区域。
使用高光谱成像系统，Filmetrics F42 微光斑测量 仪器可生成像素尺寸小至 3µm 的薄膜厚度分布图。
所有 Filmetrics 仪器上的 USB 接口都更新为 USB2.0 高速接口，可实现高达 480Mbps 的通信。
Filmetrics 薄膜测量仪可以配置改进型的 UV-Vis 光谱仪，涵盖 200nm-1100nm 波长，便于测量 1nm 至 40µm 的薄膜厚度。
ilmetrics F20-CP 上增加了一项 Filmetrics 新技术，名为 AutoBaseline™，当探头移动到与样品接触时，它会持续补偿光学系统的变化，从而大幅提高精度和稳定性
Filmetrics F80-c 是一款高通量、全自动的 图形化晶圆测量仪器具有模式识别功能，可识别直径达 300 毫米的晶圆。
Filmetrics 推出 F60-t 桌面式和 F60-c 全自动化仪器，用于对直径达 300 毫米的无图形晶圆进行薄膜厚度测量。
垂直入射光源的反射率和透射率测量 功能被加入到 Filmetrics F10-VC 中，该功能也可用于精确测量薄膜吸收率。
Filmetrics F10-RTA 的反射率/透射率/角度反射率功能是在F10-VC 上另外添加了一个光学子系统，以测量某个角度的反射率。这些测量结果可以与垂直入射反射率和透射率数据相结合，以测量薄膜的 n 和 k，而无需 n 和 k 模型。
Filmetrics F50-XY-510 自动薄膜测厚仪配备特有的 X-Y 平移系统，可测量最大尺寸为510mm x 510mm 的样品。
新型 Filmetrics F70 采用颜色编码光学设计，可以测量从 50µm 到 15mm 的薄膜。
新的 Filmetrics aRTie 仪器同时测量反射率和透射率光谱，包括一个寿命为 40,000 小时的光源，并通过 USB 接口电缆供电。
Filmetrics F10-ARc – 紧凑型便携式仪器，用于测量塑料镜片涂层厚度
Filmetrics F10-ARc 专为测量眼科镜片上的涂层而设计. 这款仪器可快速精确地测量眼镜和其他眼具中使用的塑料镜片上的抗反射涂层和硬涂层。F10-ARc 中使用的低功率光源专利使该系统紧凑而便携，并可通过 USB 接口电缆取电。
Filmetrics 推出自动波长校准技术，该技术使用集成的气体放电灯来显著提高精确性和稳定性。
使用 R-Theta 自动样品台，Filmetrics F54 显微镜光斑测量仪器提供自动化的样品膜厚分布图， 测量的光斑尺寸小至 2.5µm.
Filmetrics SS-XY-38 自动 X-Y-Z 样品台具有 38 毫米的 X-Y 行程，增加了自动聚焦功能，可以与新的或现有的仪器结合使用，例如与 Filmetrics F20 结合使用。
Filmetrics F57 CTM 将 Filmetrics 颜色编码测量技术与 R-Theta 样品台相结合 ，可测量直径达 300 毫米的样品，可测量 50 µm至 15 mm的薄膜厚度。
精确测量曲面样品的透射光谱可以使用 Filmetrics SS-Trans-Curved 样品台完成这种镜片测量。
Filmetrics LS-DT2 UV-Vis-NIR 光纤光源提供更高的可靠性、基于 USB 的数字化功能控制以及灯具寿命仪表，旨在与包括 UV 光谱仪的 Filmetrics 仪器配对使用。
Filmetrics F64-c 全自动化仪器利用自动转台、晶圆自动传送、可选的预校准器和精密光学校准机制，使用小至 1µm 的光斑尺寸来测量图形化的晶圆膜厚。
Filmetrics -sX 系列仪器，例如 F3-sX，可以测量达 3mm 的薄膜厚度以及尺寸达 1.3 mm的硅晶圆.
Filmetrics XY10 电动载物台可以搭载到大多数 Filmetrics 仪器中，能以每点 0.2 秒的速度进行薄膜厚度或折射率成像。 XY10 可以选配电动自动对焦。
Filmetrics加入KLA。
Filmetrics于2019年3月6日加入KLA Instruments，成为了KLA公司的成员。Filmetrics 系列薄膜测量仪器将 KLA 的桌面式量测能力扩展到薄膜厚度、n 和 k 的测量。 The Filmetrics Profilm3D® 光学轮廓仪扩展了KLA 测量表面形貌的产品系列，为KLA 现有仪器无法适用的应用提供了新的选择。 Filmetrics 全球应用支持和销售办事处持续为客户需求提供快速响应。
