
大会时间: | 5月24-26日 |
大会地点: | 上海新国际博览中心(龙阳路2345号) |
展位号: | W9-555 |
演讲人姓名: | 李合印 博士 |
演讲人职位: | KLA Instruments 事业部应用经理 |
演讲人介绍: | 李合印,高级应用经理, 2002获复旦大学物理系凝聚态物理专业博士学位,同年加入新加坡国立大学电子工程系从事GaN外延及其相关的LED器件生长的研究,2004 年加入科磊半导体设备技术上海有限公司至今,长期从事半导体前道制程量测设备的技术开发与支持工作,其中包括场效应管沟道介质层的非接触式电学表征技术,薄膜厚度以及光学关键尺寸表征技术,接触式表面形貌表征技术,白光干涉以及共聚焦量测技术,这些技术在硅基半导体,化合物半导体以及太阳能电池片制造方面都得到广泛的应用。 |