光学轮廓仪
的创新历史
ADE Phase Shift 推出了 MicroXAM 光学轮廓仪，具有埃级别灵敏度，可用于超光滑表面的相位变化干涉测量，以及更大台阶高度样品的垂直扫描干涉测量。
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KLA 收购了 ADE 公司，为 KLA 的台式量测组合增加了 MicroXAM-100 光学轮廓仪，以及用于半导体市场的衬底几何图形和缺陷检测解决方案。
Zeta-20 是 Zeta Instruments 推出的第一款产品。
Zeta-20 是使用 ZDot™技术的光学轮廓仪，ZDot™ 是一项专利技术，它结合了结构光源、共聚焦光学以生成高分辨率的3D表面形貌数据和表面真彩图像。该技术使用户能够轻松地聚焦在任何透明或不透明的表面上，以便快速测量台阶高度和粗糙度。通过将 ZDot 技术与白光干涉仪、剪切干涉仪、透明薄膜反射仪和自动缺陷检测功能相结合，多模式光学系统扩展了非接触式3D 光学轮廓仪的功能。
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Zeta-200 发布，带有自动化的 X-Y 样品台和支持发光二极管 (LED) 应用的新功能。
Zeta-200 光学轮廓仪利用高透射光学设计、背面光源技术和专有算法来测量图形化的蓝宝石衬底 (PSS) 该系统可以适应各种 PSS 凸起形状，测量视场中所有 PSS 凸起的高度和间距，从而避免仅测量一小部分区域而产生错误的凸起信号或导致结果偏差。通过多模式光学系统，其还能在 PSS 制造过程中测量薄膜厚度和样品的翘曲度。最后，通过自动缺陷检测功能，Zeta-200 可以识别缺陷，如丢失的凸起、划痕和颗粒。
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Zeta-280 在 Zeta-200 的平台上增加了一个单晶圆盒桌面式机械手臂。
新的 Zeta-300 轮廓仪支持测量在X ，Y 和Z方向上更大的器件。该系统采用一体化隔振平台和隔声罩对环境中的噪声进行隔离。
利用ZDot™技术以及透明的多表面测量应用, 在 Zeta-20 上进行微流体器件测量。
Zeta-20 采用 ZDot技术和多表面应用， 为封装微流体器件提供了一种创新的测量解决方案高透射率的光学设计使 ZDot 信号在通过多层后仍能保持强劲。这样就可以在用盖板玻璃封装器件之前和之后，测量盖板的厚度、通道深度以及微流体通道内控制结构的尺寸。封装后的测量至关重要，因为封装会改变通道和控制结构的外形，从而影响器件的性能。
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Zeta-380 将 Zeta-280 的桌面式机械手臂与 Zeta-300 平台相结合。
MicroXAM-800 将 Ambios 和 ADE 相位变化干涉测量平台的最佳硬件和算法与创新且易于使用的软件相结合，用于自动测量台阶高度和粗糙度。
Zeta-20 具有增强性能，可应对太阳能行业的独特需求。
Zeta-20 为太阳能行业提供了 创新的解决方案， 以测量绒面工艺和金属接触线的3D形貌。表面形貌测量对于控制金字塔结构的高度、外形和尺寸分布至关重要，因为这会影响太阳能电池的光捕获效率。银接触线是通过丝网印刷工艺印刷，银接触线的宽度、高度和体积会对器件成本发生很大的变化。高动态范围测量模式被开发用于处理具有不同反射率的材料。在太阳能电池制造工艺过程中，使用高动态范围模式测量镀有减反膜涂层绒面表面的银接触线3D形貌。
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Zeta-360 和第一代 Zeta-388 产品为 Zeta 平台的自动化晶圆处理功能提供了新的选择。
Profilm3D 光学轮廓仪的推出，提供了一种3D表面形貌测量系统解决方案，该方案经济实惠，采用白光干涉测量。
Filmetrics® 在已获成功的膜厚仪产品线的基础上进行设计与优化，开发出了一种经济实惠且易于使用的光学轮廓仪，该轮廓仪具有多种成像技术，可以解决各种应用问题，包括薄膜厚度，表面粗糙度，台阶高度和表面形貌。
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Zeta Instruments 加入了KLA Instruments 集团，扩大了 KLA 光学轮廓仪的产品线，增加了 ZDot 技术和多模式测量技术。Zeta 系列支持研发、生产和全自动化环境，用于3D表面形貌测量系统。
The Filmetrics ProfilmOnline® 软件使用户无需台式计算机即可存储、共享和分析3D数据。
利用网络浏览器和强大的智能手机功能，Filmetrics 推出了世界上少有的专门用于在线存储、查看和分析由光学轮廓仪、扫描探针显微镜（如原子力显微镜）和其他三维成像显微镜等获取3D形貌数据的网络应用程序。用户只需单击一下，即可从 Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪上传数据，对其进行分析，并与同事共享图像和测量结果。基于手机和平板电脑开发的应用软件允许用户通过任意设备、从任意地点查看数据。
Zeta-388 凭借图形化的蓝宝石衬底 (PSS) 应用荣获2018年化合物半导体行业量测奖。
Profilm3D 增加了 TotalFocus™功能，提供其样品表面的3D自然彩色图像，每个像素都处于聚焦状态。
Zeta-388 是最新一代的光学轮廓仪，具有全自动化晶圆处理能力。
Zeta-388 增加了自动化晶圆处理功能、新的数据分析软件以及对 SECS/GEM 的支持，专为半导体生产工厂的全自动测量而设计。随着相移干涉测量以及新的自动化多光标数据分析的增加，对浅台阶进行快速、高分辨率的测量成为可能。通过新型光源和算法来增强信号，从而实现高深宽比沟槽的全自动测量。该系统提供了具有生产价值的工艺控制测量，如图形化的蓝宝石衬底上的圆锥高度、粗糙度和台阶高度。
Filmetrics 加入 KLA Instruments 集团，并成为 KLA 的一家子公司。在薄膜厚度、n 和 k 的测量方面，Filmetrics 系列薄膜测量仪对 KLA 的桌面式量测功能进行了加强。Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪扩展了 KLA 仪器的产品线，用于测量表面形貌，为KLA 现有仪器无法适用的应用提供了新的选择。
Profilm3D-200 具有一个行程为 200 mm的自动样品台和一个用于 200 mm直径晶圆的适配器。