薄膜厚度测量系统
薄膜厚度测量系统
Filmetrics®经济实惠的膜厚仪系列在几秒钟内就能完成高精度的薄膜厚度测量。这些易于使用的仪器与智能软件和一系列附件和配置相结合，可提供最大的通用性，可测量厚度为 1 纳米至 3 毫米的薄膜。
Filmetrics F54
将F40的小尺寸测量光斑与集成摄像头相结合，加上使用R-Theta样品台对直径达300毫米的晶圆进行自动分布测绘。使用F54高级光谱反射系统，可以快速轻松地绘制出直径达450毫米的样品的薄膜厚度分布。
Filmetrics F54-XY 系列
F54-XY 系列是自动化台式测绘系统，用于测量直径达 300 毫米的样品的薄膜厚度 、折射率、反射率、吸收率和表面粗糙度。五种配置涵盖了2微米到100微米的光斑尺寸，用以测量从4纳米到120微米的薄膜厚度。
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从 1995 年推出第一台薄膜测量仪器开始，Filmetrics 的技术专家不断推出关键技术创新，例如 AutoBaseline™，它使用薄膜厚度图像进行图形识别，并内置自动波长校准功能。二十多年来，Filmetrics 提供的创新技术和无可比拟的应用支持为客户提供了可重复且值得信赖的薄膜量测功能。详细了解丰富多彩的创新历史，并了解 Filmetrics 反射计是薄膜测量标准的原因之所在。
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Instruments
KLA Instruments提供一系列轮廓仪、纳米压痕仪、薄膜厚度仪、电阻测量仪以及缺陷检测和量测系统。对于行业专家、学术界和其他创新者，KLA Instruments提供值得信赖的测量技术，助力世界实现技术上的突破性发展。
缺陷检测系统
Candela® 用于化合物半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信、网络、LED、功率器件、传感器、太阳能、光伏和数据存储等应用中实现显著的良率和工艺改进。
纳米压痕仪
KLA Instruments 的纳米压痕仪产品能够提供精准、可靠和可重复的检测，用于在各种测试条件下确定材料静态和动态力学特征属性。
光学轮廓仪
Profilm3D® 和 Zeta™ 光学轮廓仪利用干涉仪和 ZDot 测量技术为 3D 台阶高度、粗糙度和其他表面形貌测量提供快速、非接触式的测量解决方案。
方块电阻测试仪
Filmetrics® 电阻测试仪在超过 45 年的电阻测量创新和专业技术的基础上开发而成。
探针式轮廓仪
Alpha-Step®, Tencor® P 系列和 HRP 探针式轮廓仪可实现高精度、二维 (2D) 和三维 (3D) 表面量测。探针式轮廓仪测量台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力，具有优秀的稳定性和可靠性，可满足您的研发和生产量测要求。