半导体：非晶硅（a-Si）和多晶硅厚度测量

使用 Filmetrics F20 测量非晶硅和多晶硅的光学常数（n 和 k）。 该工具涵盖成熟的测量程序，可同时测量和呈现基板厚度、硅层厚度以及层间二氧化硅厚度。轻点一下，即可完成。

半导体：介电质性能测量

对于电子行业，介电薄膜的测量准确性极其重要。以下是 Filmetrics 测量系统应用最广泛的介电质测量项目：

二氧化硅厚度： Filmetrics 系统可测量 SiO₂ 薄膜的厚度，适用厚度范围为 3 纳米到 1 毫米。

氮化硅 (Si₃N₄) 的折射率：通过测量氮化硅的折射率以及膜层厚度，可在几秒内全面地表征氮化硅薄膜的性质。 联系我们的薄膜专家，共同探讨您的介电质应用或获取免费试用服务。

显示器：ITO 薄膜厚度

使用精准折射率测量技术，测量氧化铟锡（ITO）和其他透明导电氧化膜（TCO）的薄膜厚度。 Filmetrics 工具可以测量液晶层（聚酰亚胺、硬质涂层、液晶和 OLED 层），包括发光层、注入层、缓冲层和封装层。

生物医学涂层厚度测量

借助 Filmetrics 工具，单击一下即可测量生物医学领域的涂层厚度，如导管和血管成形术球囊、支架、导丝、针头和其他植入物的涂层厚度。 这些仪器通常涂覆生物医学涂层，可确保仪器设备免受腐蚀，而其他涂层则可预防组织创伤、感染，甚至排斥反应等并发症。 另一种常见应用是测量药物输送涂层的厚度。 我们的 Filmetrics 工具能快速、可靠地测量厚度，且不会造成破坏，无需预处理样品。

显示器：OLED 测量

有机发光二极管（OLED）应用于多种显示设备，如手机和电视。 OLED显示屏由多种膜层材料组合而成，精准量测它们的厚度信息对表征OLED来说至关重要，对于OLED膜层材料的厚度测量需要用到非接触式测量系统。 我们的 F20-UV、F40-UV 薄膜厚度测量仪和 F10-RT-UV 反射仪是经济实惠的量测解决方案，可在不损坏设备的情况下，测量简单的原型设备和全像素显示器。 我们的 OLED 测量仪器采用光谱技术，因此还可以检测大气敏感材料中潜在的化学成分变化。 我们还提供 OLED 薄膜样品免费厚度测量体验。

半导体：光刻胶厚度测量

借助我们的 Filmetrics F20、Filmetrics F3-sX 和 Filmetrics F50/F60-t 等多款桌上型单点反射率量测工具或多点反射率测绘工具，测量单层、多层，甚至是自支撑光刻胶薄膜的光刻胶厚度和蚀刻速率。 所有 Filmetrics 模型均可实现精准光谱反射率建模，以测量光阻厚度（和光阻率）。 独特的专利算法让强大的“一键式”分析变为可能，通常可一秒内输出结果。 测量 SU-8、Dow BCB 和其他超厚光刻胶的厚度是 Filmetrics 产品线最热门的应用。

多孔硅薄膜测量

多孔硅广泛用于光学仪器、气体传感器和生物医学仪器等不同领域。

多孔薄膜测量涉及厚度和孔隙率的测量。 通常在测量孔隙率时会用到重力测量等非破坏性方法，但这些方法的准确度极低。 Filmetrics^® 工具（例如 F20、F40 和 F50 仪器）采用独特的分析算法，轻点一下鼠标即可获取多孔硅的层厚、折射率和孔隙率。

半导体工艺薄膜测量

Filmetrics^® 工具的全套仪器和系统，可测量任何非金属半导体工艺薄膜的厚度和折射率。

广受欢迎的 Filmetrics F20 通用薄膜厚度测量仪，是单点测量厚度和折射率最经济实惠的解决方案。

Filmetrics F40 显微镜薄膜厚度测量仪器则适用于小光斑尺寸厚度测量（光斑尺寸小至 1 微米或更低），可直接连接用户显微镜。

Filmetrics F50 薄膜厚度测绘仪可精准测量薄膜厚度，并自动逐点绘制无图案薄膜。

另外，对于需要小光斑尺寸测量和图案识别的生产用晶圆，Filmetrics F54-XY 是绝佳的选择。

与传统的薄膜计量工具相比，我们的专利厚度成像技术更容易设置、参数更少、图案识别功能更强大，相较于传统的膜厚量测工具成本更低。 有独立版和集成版可选。

硅晶圆和薄膜厚度测量

Filmetrics^® 系统包括用于硅晶圆厚度和薄膜厚度测量的桌上型系统、测绘系统和生产系统。 常见测量晶圆材料包括单面抛光或双面抛光硅片、蓝宝石、熔融石英、SiC（碳化硅）、LiTaO₃（钽酸锂）、GaN（氮化鎵）和玻璃。

我们的技术专家将为您找到最适合您厚度测量要求的 Filmetrics 工具，满足您测量不同厚度范围，进行单点测量与厚度测绘等需求。

光伏产品测量

数十家薄膜光伏（TFPV）制造商借助 Filmetrics^® F20 薄膜分析仪来测量所有三类光伏活性层的厚度和光学常数。 为了测量 TCO（透明导电氧化物）的光伏活性层，Filmetrics 专家在表征客户内部和玻璃供应商的单层或多层 TCO 方面拥有丰富的经验。

在测量聚酰亚胺、增透膜和光刻胶等薄膜方面，我们还提供桌上、测绘或产线集成解决方案。

半导体制造教学实验室

Filmetrics F20 系统在全球的教学实验室中广泛使用，帮助工程专业学生了解光谱反射率原理。 大学为实验室课程购买仪器，可享受我们的特别优惠。

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卷材和聚合物薄膜厚度测量

在塑料与聚合物生产过程中，多个关键环节都依赖对薄膜厚度的精准测量，以确保产品质量。 其中包括膜厚度（多达 1 毫米）、共挤出各层厚度和卷材厚度测量。 聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）涂层的薄膜厚度，则可使用我们的 F20-UV 测量。 F20-UV 可测量超薄层（约 10 纳米），甚至是高能等离子体处理后的表面。 我们的 F20 标准版可测量常见的涂层，例如厚度为 0.05 至 50 微米的硬涂层。

我们拥有庞大的折射率数据库，涵盖多种聚合物薄膜的数据，如 PET、聚碳酸酯、纤维素和聚烯烃薄膜，以及导电聚合物等小众材料。

不同应用场景面临的挑战各不相同，而我们的软硬件和专业应用知识，能为您的卷材和聚合物薄膜厚度测量提供最合适的解决方案。